產品展示
晶圓傳輸系統-EFEM

8”/12”晶圓適用
兼容Wafer cassette / FOUP / FOSB / Box 進出料
可選貝努利晶圓搬運技術
配置12” 裝卸料塢
晶圓智能料籃內測繪
非接觸晶圓校正
工控機+Windows系統
SECS/GEM 或簡易聯網能力
五月天丁香婷深爱综合 开心婷婷五月综合基地 色姑娘综合站